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Phasics SID4系列 波前傳感器
法國Phasics 公司的產品基于其波前測量**技術，即4 波橫向剪切干涉技術。（4-Wave Lateral Shearing Interferometry）。在增強型改進型哈特曼掩模的基礎之上，這種獨特技術將高分辨率和大動態范圍較好結合在了一起。任何應用下，其都能實現全面、簡便、快速的測量。具有如下獨特技術優勢：
高分辨率的相位圖，高分辨率可達400ｘ300。
具有直接測量高發散光束的能力
消色差，匹配CCD整個探測范圍，用于不同波長光而無需額外校準。
應用方向：
激光束質量分析
自適應光學
光學系統測量
生物成像
熱成像，等離子體表面物理
型號 | SID4 | SID4-HR | SID4-DWIR | SID4-SWIR | SID4-NIR | SID4-UV | SID4 UV-HR |
孔徑 | 3.6 × 4.8 mm2 | 8.9 × 11.8 mm2 | 13.44 × 10.08 mm2 | 9.6 × 7.68 mm2 | 3.6 × 4.8 mm2 | 7.4 × 7.4 mm2 | 8.0 × 8.0 mm2 |
空間分辨率 | 29.6 μm | 29.6 μm | 68 μm | 120 μm | 29.6 μm | 29.6 μm | 32 μm |
采樣點/測量點 | 160 × 120 | 400 × 300 | 160 × 120 | 80 × 64 | 160 × 120 | 250 × 250 | 250 × 250 |
波長 | 400 nm ~ 1100 nm | 400 nm ~ 1100 nm | 3 ~ 5 μm ， 8 ~ 14 μm | 0.9 ~ 1.7 μm | 1.5 ~ 1.6 μm | 250 ~ 450 nm | 190 ~ 400 nm |
動態范圍 | > 100 μm | > 500 μm | N/A | ~ 100 μm | > 100 μm | > 200 μm | > 200 μm |
精度 | 10 nm RMS | 15 nm RMS | 75 nm RMS | 10 nm RMS | > 15 nm RMS | 20 nm RMS | 10 nm |
靈敏度 | < 2 nm RMS | < 2 nm RMS | < 25 nm RMS | 3 nm RMS (高增益）< 1 nm RMS (低增益） | < 11 nm RMS | 2 nm RMS @ 250 nm， 2 μJ/cm2 | 0.5 nm |
采樣頻率 | > 100 fps | > 30 fps | > 50 fps | 25/30/50/60 fps | 60 fps | 30 fps | 30 fps |
處理頻率 | 10 Hz (高分辨率) | 3 Hz (高分辨率) | 20 Hz | > 10 Hz (高分辨率） | 10 Hz | > 2 Hz (高分辨率） | 1 Hz |
尺寸 | 54 × 46 × 75.3 mm | 54 × 46 × 79 mm | 85 × 116 × 179 mm | 50 × 50 × 90 mm | 44 × 33 × 57.5 mm | 53 × 63 × 83 mm | 95 × 105 × 84 mm |
重量 | 250 g | 250 g | 1.6 kg | 300 g | 250 g | 450 g | 900 g |
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