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Phasics利用其四波橫向剪切干涉技術，在紫外波前測量提供了較好的解決方案。它有非常高空間分辨率（250x250測量點）和在190-400nm范圍具有高靈敏度（0.5 nm RMS）。因此，SID4-UVHR是完全適用于光學元件的特性（用于光刻技術、半導體…）和表面檢查（透鏡和晶片…）。由于它小巧，易于使用，能有效地適應各種實驗條件。
SID4-UVHR 光學器件測量自適應光學
特點：
由于其獨特的**技術技術，Phasics的SID4-UVHR波前傳感器具備以下特點：
1.超高分辨率：250x250測量點
2.高靈敏度：0.5nm
3.通光孔徑大：8*8mm
4.直接測量：光學元件和表面質量
應用：
SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應用：
紫外激光器：光束測試與校正
光學測量：UV光學測試（半導體…）和表面測量
SID4-UVHR產品參數：
波長范圍 | 190 - 400 nm |
通光孔徑 | 8 x 8 mm2 |
空間分辨率 | 32 μm |
采樣點（相位/強度） | 250 x 250 (> 62 500 points) |
相位相對靈敏度 | 0.5 nm RMS |
相位精度 | 10 nm RMS |
動態范圍 | ~ |
采樣頻率 | > 30 fps |
實時分析頻率 | 1 fps (full resolution) |
數據接口 | Giga Ethernet |
尺寸(w x h x l) | 95 x 105 x 184 mm |
重量 | ~900 g |
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