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401 和 406 系列高性能大平臺(tái)雙軸線性平移臺(tái)由兩個(gè)正交的平移支撐件組成,以實(shí)現(xiàn)較低的設(shè)備型面以及能夠支撐高達(dá) 100 lb. 負(fù)載的大型工作區(qū)域。
集成的正交平移,提供*薄型,用于 XY 移動(dòng)
大工作區(qū)域,為多個(gè)組件提供 XY 平移
線性軸套,帶有循環(huán)滾珠軸承,可實(shí)現(xiàn)偏差小于 200 ?μrad 的平滑移動(dòng)
與 Newport 手動(dòng)和電動(dòng)促動(dòng)器兼容
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