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產品介紹
YRTP快速退火爐是一款多功能的真空氣氛燒結爐，既可以用于材料的快速升降溫退火，也可用于化學氣相沉積（CVD）法，在鎳或銅箔上制備石墨烯的制備，稍加調整，一機多用，被廣泛的應用各研究院所。
加熱系統采用環形紅外短波加熱器，*快升溫速率可達300℃/S，測溫采用精準的S型貴金屬熱電偶直接測量式樣表面，使加熱工件（式樣)的溫區更加均勻準確，控制界面采用大尺寸觸摸屏，傻瓜智能式操作，可預設置十條溫度曲線。控制數學模型采用先進的PID自學習模糊雙閉環控制模式，使控溫精度在快速升溫的恒溫狀態仍能保持在±3℃，經過長期多次的各種試樣試驗驗證，已被應用于半導體器件研發及生產等領域，廣泛滿足離子注入后的快速退火，歐姆接觸快速合金，硅化物合金退火，氧化物生長，銅銦鎵硒光伏應用中的硒沉積及其它快速熱處理工藝的要求。
技術參數
產品型號 | YRTP-1100 |
爐體結構 | 雙層殼體結構，高精度移動平臺 |
額定溫度（℃） | 1100 |
使用溫度（℃） | ≤1000 |
溫場均勻性（℃） | ±3℃ |
溫度狀態工藝時間（S) | 2~100（100~1000℃） |
*快升溫速（℃/S） | 200 |
降溫速率（℃/S） | 1~200（通氮氣，速率更快） |
溫度控制模式 | 智能模糊全閉環PID控制 |
操作方式 | 觸摸屏控制 |
超高溫狀態檢測 | 軟件檢測出溫度信息出現高溫異常時，切斷主回路 |
觸摸屏尺寸 | 7"LED |
**功率（kW） | 15 |
額定電壓 | AC380~400V，50HZ（60Hz定制） |
傳感器類型 | S型單鉑銠 |
反應腔室內徑尺寸 | Φ100X200 |
式樣有效空間 | 4" |
真空系統 | 選配 |
預留真空抽口 | KF16 |
進出氣接口 | Φ6卡套 |
尺寸重量 | 長1000×深600×高600mm；凈重：約50kg |
可根據客戶要求定制！
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