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特點：
*可調整光刻間距，**限度的避免光刻板被污染。
*操作簡易，任何操作人員都能在短時間內熟練掌握。
*產能高于一般同行業競爭對手，**可達80WPH；
*可調整光刻時間，調整光強，并可根據所需累計光量值自動補償光刻時間（無需人工調整）。
*更具客戶端的光刻工藝，可預先設定光刻頻道，可**限度避免人為誤操作的產生。
應用：
*LED，半導體的芯片生產和研發。
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