高頻等離子表面處理裝置

■ 操作性·功能

● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗機，可對應更多復雜工藝.

● 標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。

● 液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調取數據簡單。

■ 安全性·保護

● 標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據需要檢查設備的真空以及泄漏情況。

● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。

● 發生器保護回路：超負荷或者RF發生器發生問題時，可自動調低頻率來保護發生器。

● 門鎖開關：門在未完全關閉時無法啟動電源。

● 側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。

● 緊急停止按鍵（EMO）標準配備。

● 當裝置發生異常時，裝置本體發出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥。（2）關閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警

■ 產品優勢

●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。

●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝。

●搭載高精度適配器，高性能RF電源。

●可變電極構造提高等離子處理效果。

●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。

●可根據需求的具體情況提供產品定制服務。

■ 技術規格