型號

PR200

PR301

方式

DP模式、圓柱形腔體

性能

發生器功率：

0-200W

0-300W

發生器頻率：

射頻RF13.56Mhz

發生器匹配方式：

自動匹配（Auto matching)

手動匹配（manul）

構成

腔體材質：

高硼硅玻璃

腔體內尺寸：

φ100×L160mm

φ118×L160mm

反應氣體：

一路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。

控制方式：

半自動控制

真空度顯示：

數字式皮拉尼傳感器，實時顯示腔體內真空度。

模擬式壓力表

配管材質：

SUS不銹鋼以及特氟龍

門：

鉸鏈門

外形尺寸：

W350×D400×H500mm

W438×D520×H630mm

真空泵抽速：

4m3/hour

電源規格：

AC220V 10A

重量：

約25kg

約34kg

附屬品

真空管件一套、真空轉接接頭一套、試料托盤一枚。