一、儀器描述

ATM-240L用于產生高濃度PSL小球氣溶膠，依據VDI 3491（part 2）進行設計研發。

在半導體和航空航天行業中的高效過濾器的測試中，不能采用常見的油性氣溶膠物質（DEHS、PAO等），即使很小的量也會存在濾材中或者排出從而導致對產品造成損傷，根據DIN EN 1822-4中濾材的測試用固體顆粒，經過對比，PSL是**的用于測試PTFE高效濾膜的**材料。

——較高的產生速率，**1.5*1011/min。

——單分散氣溶膠粒徑分布

——滿足檢漏測試（U16級，濾紙樣610mm*610mm，質量流量600m3/h）

——較少的水分攝入，無需干燥

——易于操作、清潔、保養

二、儀器應用

l 產生示蹤粒子

l 測試HEPA和ULPA過濾器效率

l 測試大型潔凈間VDI2083、DIN EN ISO14644

l 產生PSL小球

三、儀器規格參數