型號(hào)規(guī)格：PDC—32G－2

整機(jī)規(guī)格：8.5×10×8（長(zhǎng)×寬×高）英寸 (216×254×203)mm

反應(yīng)艙規(guī)格：Φ3×L6.5英寸耐熱玻璃 (Φ76×L165)mm

反應(yīng)艙有效容積：0.75L

輸入電源：220 V／50Hz

整機(jī)輸入功率：100 W

射頻輸出檔：低檔680V DC、10mA DC、6.8W/中檔700V DC、15mA DC、10.5W/高檔720V DC、25mA DC、18W

常用工作氣體：空氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等

特征：緊湊的臺(tái)式設(shè)備，應(yīng)用一個(gè)**功率為18瓦的RF線圈，沒有RF幅射，符合CE安全標(biāo)準(zhǔn)。艙蓋可拆卸。

選配件：石英等離子清洗艙

提供各自計(jì)量?jī)煞N不同氣體進(jìn)氣和監(jiān)測(cè)壓力的氣體計(jì)量混合器Plasma Flo^TM

需要：兼容的真空泵，*小速率為1.4 m³/hr，**極限為200 MTorr

包括：1/8英寸NPT針閥束引入氣體和控制壓力