納米等離子清洗儀用來在樣品或樣品桿在插入電鏡之前對其進行及時有效清洗，去除樣品表面碳氫污染物，防止在觀察和分析過程中發生積碳現象。

技術優勢：

> 多功能：能夠同時清洗樣品、樣品桿及各類樣品臺

> 電感耦合方式激發等離子體，采用downstream 處理去除離子及電子成分

> 無濺射效應，不改變樣品本身化學組成及結構

> 可同時清洗兩根透射電鏡樣品桿

> 適配所有品牌所有型號透射電鏡樣品桿

> 滿足光闌等各類大樣品及電鏡部件清洗，且有專門光闌清洗所需的載臺

> 可同時通入三路氣體，且可以任意組分任意比例進行自動混合

> 觸屏控制操作方便

> 快速真空換樣設計

?碳膜清洗，采用5% 氧氣加95%氬氣，功率40W，清洗180s，碳膜無破損，證明納米等離子清洗所采用的Downstream設計，可有效去除傳統等離子清洗濺射效應。