超高精度真空壓力PID控制裝置

Ultra High Precision Vacuum Pressure PID Controller

上海依陽公司推出的超高精度真空壓力PID控制裝置是一種采用電氣比例閥，但通過外置超高精度傳感器和PID控制器，實現真空壓力超高精度控制的裝置，由此可實現真空、微正壓、高壓和超高壓范圍內的精密控制，可實現優于±0.1%的真空壓力超高精度控制，填補了國內工業應用領域內超高精度真空壓力控制的空白，并可完全替代國外相關產品。特別是超高精度真空壓力PID控制裝置還可與微泄漏閥搭配，可實現超高真空條件下的微流量調節和超高真空度精密控制。

一、微正壓超高精度PID控制裝置

Micro Positive Pressure Ultra High Precision PID Control Device

微正壓控制裝置主要包括微正壓電氣比例閥和相應量程的外接超高精度壓力傳感器，通過超高精度的PID控制器可實現優于±0.1%的精密控制。

二、傳統電動閥門執行器的升級換代

Upgrading of Traditional Electric Valve Actuators

傳統電動調節器一般是電動致動器、電動閥門定位器和閥門結構，結合傳感器和PID控制器構成單回路壓力或溫度控制系統。存在問題是運行速度慢、對PID控制信號響應滯后，壓力和溫度波動大。

采用閥門定位器形式的電動減壓閥蒸汽溫度控制結構

傳統閥門定位器形式的電動減壓閥蒸汽溫度控制波動

升級換代技術則采用串級控制結構，溫度傳感器、氣動減壓閥、電氣比例閥和串級PID調節器組成一個雙回路閉環控制系統。新型控制系統明顯提高控制精度和縮短控制時間。

傳感器、超高精度PID控制器、電氣比例閥和氣動減壓閥構成的串行控制結構

串級控制系統的溫度波動

三、電氣比例閥超高精度壓力PID控制裝置

Ultra-High Precision Pressure PID Control Device of Electric Proportional Valve

電氣比例閥超高精度壓力控制裝置主要包括電氣比例閥和相應量程的外接超高精度壓力傳感器，通過超高精度的PID控制器可實現優于±0.1%的精密控制。

四、先導式氣動減壓閥（背壓閥）的精密高壓控制

Precision High Pressure Control of Pilot Pneumatic Pressure Reducing Valve (Back Pressure Valve)