Idonus基于高功率LED和高檔微透鏡陣列的基礎上提出了一個 GE MING性的紫外光照系統。

這個產品應用于光刻膠曝光工藝，適用多種基材。光照質量保證了高的同質性的臨界尺寸和整個面上的側壁角。實際上，由于使用了一種完全遠心的光學，我們的設計提供了**的穩定光照條件，即整個表面的高同質性的強度和低的發散角。

可以根據用戶需求進行產品開發定制，可以極大縮短您的想法變成產品的時間。

LED BENEFITS優點

目前隨著LED技術的發展，紫外LED表現出了比汞光源更大的優勢。

● 長壽命LED，測試不需要耗材

● 不需要每天校準，即刻穩定光照

● 有限的發熱，這降低了空氣冷卻費用

● 低功率消耗

● 光源僅僅在曝光時開啟（不需要快門）

● 用戶可以根據需求進行照射系統定制。

也可以按照用戶舊機器的尺寸設計照射系統，以替代舊的機器上的汞燈照射系統。

TYPICAL PERFORMANCES 典型參數

分辨率 ：0.5 μm

光學功率 ：20 to 200 mW/cm2

曝光區域 ：50x50 to 300x300 mm2

光學輻照不均勻性 ： ±2%

ZUI大發散角(FWHM) ：±1.5°to 3°

波長 ：365 / 385 / 405 nm

光譜半寬幅 ：12 nm

設備尺寸 ： 65x30x30 cm3

總功率 ：20 to 1200 W