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超納NanoX-M300mm晶圓自動膜厚測試儀，其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間，測量精度高達1埃，測量穩定性高達0.7埃，測量時間只需一到二秒， 并有手動及自動機型可選。可應用領域包括：半導體材料、生物醫學、液晶顯示，、硬涂層、金屬膜，、眼鏡涂層、聚對二甲笨、電路板、多孔硅、光阻材料 、陽光伏、真空鍍層、圈筒檢查等等。超納NanoX-M300mm晶圓自動膜厚測試儀具有測試精度高，測試時間短，操作便捷等優點。
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