產(chǎn)品參數(shù)能夠避免操作失誤情況的出現(xiàn)

·研究級(jí)材料顯微鏡，適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、粉塵顆粒等樣品觀察分析，多種安全設(shè)計(jì)，保護(hù)晶圓，鏡頭及觀察者

·模塊化設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)透、反射觀察

·復(fù)消色差光路，整體光路支持25mm視野直徑

·6孔位電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤，配接直徑32mm長(zhǎng)工作距離物鏡，物鏡轉(zhuǎn)盤帶編碼，可在不同倍數(shù)的物鏡下自動(dòng)加載相應(yīng)倍數(shù)的比例尺

·8 X 8大樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)8寸晶圓的直接觀察

·內(nèi)置手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)焦系統(tǒng)

·獨(dú)有的0.7X宏觀物鏡，具有晶圓檢查功能

·可提供全自動(dòng)明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉、斜照明等觀察方式

·機(jī)身內(nèi)置LED透、反射照明光源，智能光強(qiáng)變化的控制照明方式

·可選配UV光源，提高分辨率至亞微米結(jié)構(gòu)，UV由大功率的LED產(chǎn)生，具有UV和OUV功能

·可自動(dòng)記憶不同物鏡與觀察方式下**的光強(qiáng)，光闌及聚光鏡的組合，自動(dòng)恢復(fù)到位，操作簡(jiǎn)單快速

·光強(qiáng)，光闌，觀察方式和聚光鏡調(diào)節(jié)除了按鍵控制外，還可由計(jì)算機(jī)控制

·可連接晶圓搬送機(jī)進(jìn)行連續(xù)工作

·可配接攝像頭觀察和采集圖像，并提供專業(yè)分析軟件

·可配接高溫?zé)崤_(tái)、熒光光源、陰極發(fā)光儀、光度計(jì)等

產(chǎn)品特點(diǎn)

·適用于所有觀察方法的 LED 照明系統(tǒng)，LED 不會(huì)產(chǎn)生熱量，以此保護(hù)樣本。色溫穩(wěn)定，確保得出真實(shí)的可再現(xiàn)分析結(jié)果

·利用0.7X 的全景物鏡，能夠獲得對(duì)樣本表面的快速總覽

·高分辨率暗場(chǎng) (HDF)，為您呈現(xiàn)更多細(xì)節(jié)

·UV和OUV觀察方式進(jìn)一步提高了橫向分辨率和縱向分辨能力

·軟件強(qiáng)大的專業(yè)分析功能，包括晶粒度分析、相分析、鑄鐵分析、脫碳分析、夾雜物分析和清潔度分析