產品參數能夠避免操作失誤情況的出現

·研究級材料顯微鏡，適合晶圓、電子元器件、金屬、陶瓷、高分子材料、粉塵顆粒等樣品觀察分析，多種安全設計，保護晶圓，鏡頭及觀察者

·模塊化設計，可實現透、反射觀察

·復消色差光路，整體光路支持25mm視野直徑

·6孔位電動物鏡轉盤，配接直徑32mm長工作距離物鏡，物鏡轉盤帶編碼，可在不同倍數的物鏡下自動加載相應倍數的比例尺

·12 X 12大樣品臺，可實現12寸晶圓的直接觀察

·內置手動/電動調焦系統

·獨有的0.7X宏觀物鏡，具有晶圓檢查功能

·可提供全自動明場、暗場、偏光、微分干涉、斜照明等觀察方式

·機身內置LED透、反射照明光源，智能光強變化的控制照明方式

·可選配UV光源，提高分辨率至亞微米結構，UV由大功率的LED產生，具有UV和OUV功能

·可自動記憶不同物鏡與觀察方式下**的光強，光闌及聚光鏡的組合，自動恢復到位，操作簡單快速

·光強，光闌，觀察方式和聚光鏡調節除了按鍵控制外，還可由計算機控制

·可連接晶圓搬送機進行連續工作

·可配接攝像頭觀察和采集圖像，并提供專業分析軟件

·可配接高溫熱臺，熒光光源，陰極發光儀，光度計等

產品特點

·適用于所有觀察方法的 LED 照明系統，LED 不會產生熱量，以此保護樣本。色溫穩定，確保得出真實的可再現分析結果

·利用0.7X 的全景物鏡，能夠獲得對樣本表面的快速總覽

·高分辨率暗場 (HDF)，為您呈現更多細節

·UV和OUV觀察方式進一步提高了橫向分辨率和縱向分辨能力

·軟件強大的專業分析功能，包括晶粒度分析、相分析、鑄鐵分析、脫碳分析、夾雜物分析和清潔度分析