GC8800系列

高純氣雜質PDHID分析

高純氦雜質分析

H2，O2，Ar，N2，CO2，CH4 *小檢測量優于 20ppb

高純二氧化碳雜質分析

H2，O2，Ar，N2，CH4 *小檢測量優于 20ppb

高純氫雜質分析

N2，H2，CH4，CO2，CO*小檢測量優于 20ppb

下列儀器關鍵部件均由美國VICI等公司進口

PDHID檢測器

氦氣純化器

流路系統

樣品過濾器

色譜柱

GC8802

SF6雜質單柱PDHID分析

色譜儀

分析SF6中CO，CF4，CH4，CO2，C2F6，SF6，SO2F2，C3F8

GC8803

含氟氣體分析專用色譜

一次進樣后完成全分析

檢測器：高靈敏度、耐腐蝕的TCD

進樣：VICI自動采樣閥技術

采樣：無死體積采樣或在線采樣

方式，一次性完成常見雜質檢測。

重復性：RSD≤1％。

檢出限：H2-100ppm; F2-100ppm; Kr-500ppm; HCL-500ppm