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儀器介紹： 橢圓偏振法測量的原理很早就已提出，相應(yīng)的測試方法和設(shè)備也不斷地被改進(jìn)和創(chuàng)新，使得橢圓偏振法成為重要的測試手段，并廣泛地應(yīng)用在光學(xué)、材料、生物、醫(yī)學(xué)等各個(gè)領(lǐng)域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法*基本、*重要的應(yīng)用之一 。
儀器特點(diǎn)： ●儀器采用消光式橢圓偏振方式測量
●精度高、自動(dòng)控制
●光源采用氦氖激光，波長精度高
●儀器采用USB接口與電腦連接
●配套軟件對(duì)采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式，適用于不同需要
●軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本，適于教學(xué)要求
實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：
測量楊氏模量
技術(shù)指標(biāo)：
編號(hào) | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm～4000nm |
2 | 測量*小值 | ≤1nm |
3 | 鍍膜折射率范圍 | 1.300～10.000 |
4 | 入射角 | 40°～90° 誤差≤0.05° |
5 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°～180° |
6 | 偏振器步進(jìn)角 | 0.0375°/步 |
7 | 測量精度 | ±0.5nm（10nm，±0.5nm） |
8 | 光學(xué)中心高度 | 75mm |
9 | 工作臺(tái)直徑 | φ10mm～φ120mm |
10 | 厚度 | ≤10mm |
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