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1、非接觸光學測量系統。 2、應對各種材質，重復測量精度≦0.5μm。 3、高速采樣，*快周期20μs。 4、強大的CPK統計功能。 5、吸附系統及高精度位移系統。 6、測量輪廓、斷差、槽深、高度等。
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