溫控精度：
±1℃最高溫度：
1600額定溫度：
1500非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
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產品介紹:
KJ-CVD 是一種分體式管式爐，配備60mm直徑的石英管，真空泵和四通道質量流量計氣體流動系統。可混合1-6種氣體進行CVD.
應用范圍:
此款CVD生長系統適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結等實驗。
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