誤差率：
~分辨率：
10 nN重現性：
~儀器原理：
圖像分析分散方式：
~測量時間：
~測量范圍：
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市場上*精確的納米劃痕測試儀
主要特點
納米劃痕測試儀帶有載荷傳感器，采用雙懸臂梁用于施加載荷，以及壓電式驅動器用于對施加的載荷快速響應。這一設計理念還修正了在劃痕過程中發生的任何事件（例如出現裂紋和故障、缺陷或樣品不平整）而導致的測量結果偏差。
在劃痕之前、過程和之后，位移傳感器 (Dz) 一直記錄樣品的表面的輪廓。這讓您可以在劃痕過程中或之后評估針尖的位移量，從而可以評估材料的彈性、塑性和粘彈性能（**：US 6520004)
閉環主動力反饋系統可在 1 μN 以下進行更精確的納米劃痕測試。納米劃痕測試儀包含一個 傳感器測量載荷，可以直接反饋給法向載荷驅動器。這確保施加的載荷就是用戶設置的載荷。
集成顯微鏡包括配置高質量物鏡的轉塔和 USB 照相機。劃痕成像時，能輕松將放大倍數從 x200 轉換為 x4000，實現在低放大倍數和高放大倍數自由切換從而更好地對樣品進行評估。“跟蹤聚焦”功能可以進行將多個劃痕的 Z 樣品臺自動聚焦到正確位置。
劃痕后，您可以在軟件中用時間增量定義無限次后掃描測量殘余位移。這種全新的分析方法將讓您進一步了解表面變形性能與時間的依賴關系。
技術指標
| 施加的載荷 | |
|---|---|
| 分辨率 | 0.01 μN |
| **載荷 | 1000 mN |
| 本底噪音 | 0.1 [rms] [μN]* |
| 摩擦力 | |
| 分辨率 | 0.3 μN |
| **摩擦力 | 1000 mN |
| 位移 | |
| 分辨率 | 0.3 nm |
| **位移 | 600 μm |
| 本底噪音 | 1.5 [rms] [nm]* |
| 速度 | |
| 速度 | 從 0.4 mm/min 到 600 mm/min |
*理想實驗室條件下規定的本底噪音值，并使用減震臺。
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