3位置真空閘閥

  閥車

304 S.S.

  閘門

304 S.S.

  波紋管

AM350

  使用壽命

  HV :DN100 ~ 200_300,000 cycles

        DN250 ~ 50,000 cycles

  UHV :DN100 _ 100,000 cycles

           DN150 ~ 250_50,000 cycles

  1大氣壓力下之漏率

  ＜2×10^-9 mbar?l /sec for O-ring

  ＜5×10^-10 mbar?l /sec for gasket seal

  耐溫限制

  Open

  200℃ Viton^? bonnet seal

  Closed

  150℃ Viton^? bonnet seal

  使用壓力范圍 (mbar)

  HV: 1x10^-8 ～ 1000

  UHV: 1x10^-10 ～1000

  **使用壓差 ΔP (mbar)

  ≦ 30 before opening

  標準密封

  閘門

Viton O-ring

  閥蓋

Viton O-ring or OFHC copper gasket

  驅動器

  氣動式 Pneumatic

  氣壓源
  連接氣管
  壓力范圍

?6 mm
4~6 Kg/cm²(overpressure)

  表面處理

  表面拋砂處理

  選配

  a. 位置指示器
  b. 氣動控制電磁閥
  c. 超規加大型接口
  d. 其他閘門材質O型圈密封