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卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備RTR-III-80
卷對卷連續(xù)化生長CVD設(shè)備RTR-III-80

參考價格

面議

型號

RTR-III-80

品牌

產(chǎn)地

安徽合肥

樣本

暫無
安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
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一、設(shè)備簡介:

該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的專用設(shè)備,此款設(shè)備是快速冷卻卷對卷CVD連續(xù)生長爐,它由高溫生長腔體,三路質(zhì)量流量計氣路系統(tǒng),真空機(jī)組,石英管,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,自動化控制系統(tǒng)組成,兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室(即收放銅箔或纖維絲的密封裝置),收放密封裝置內(nèi)分別對應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點,可以進(jìn)行大面積、高質(zhì)量石墨烯的規(guī)模化生長或者線性材料的連續(xù)生長。(纖維生長工藝,配有纖維張力計,可以通過調(diào)節(jié)電機(jī)轉(zhuǎn)速,以便達(dá)到纖維連續(xù)進(jìn)出且受力均勻)


二、技術(shù)參數(shù)

1.加熱系統(tǒng)

zui高溫度

1200

使用溫度

≤1100

爐膛有效尺寸

Φ80mm(適用于2-3英寸樣品,爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。)

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1

控溫方式

30段可編程控溫,PID參數(shù)自整定,操作界面為7”工控電腦,內(nèi)置PLC控制程序。

加熱長度

200+200+200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相,220V50Hz

 

2、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)

200sccm500sccm1000sccm

(可根據(jù)用戶要求定制)

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時間

氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

工作壓差范圍

0.10.5 MPa

zui大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

 

3、低真空機(jī)組

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X1051.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管,手動擋板閥與波紋管相連


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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