分散方式:
測量時間:
30s測量范圍:
10.2誤差率:
分辨率:
1%重現性:
儀器原理:
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手持式四探針方阻測試儀
一.概述Overview:
參照硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國家標準設計制造該儀器設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》,采集集成電路恒流源系統,提供便捷的操作模式,便攜式外型結構,可充電式電源系統,待機時間長,上下限設定.
手持式四探針方阻測試儀
二.功能介紹Function introduction:
手持式外型結構適用于車間生產、品管抽檢,外出、攜帶測量等要求測量的場所;也適用于中小型半導體材料生產企業.
手持式四探針方阻測試儀
三.技術參數Technical Parameters:
規格型號Specification model | FT-391A | FT-391B | FT-391C |
1.方塊電阻范圍sheet resistance | 10~2.00×102Ω/□ | 10~2.00×103Ω/□ | 10~2.00×104Ω/□ |
2.電阻率范圍resistivity | 1~2×103Ω-cm | 1~2×104Ω-cm | 1~2×105Ω-cm |
3.分辨率resolution | 0.01Ω | 0.01Ω | 0.01Ω |
4.顯示讀數display | 液晶顯示:電阻率、方阻、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 LCD: resistivity. sheet resistance. unit conversion. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. | ||
5.測試方式test mode | 單電測量single electrical measurement | ||
6.工作電源working power | 5V.1000mA | ||
7. 誤差errors | ≤4.5%(標準樣片結果standard samples) | ||
8.選配choose to buy | 選配1.方形探頭; 選配2.直線形探頭;探針間距;選配3:探針間距1mm;2mm;3mm三種規格; 選配4:探針材質:碳化鎢針;鍍金磷銅半球形針square probe; 2. linear probe; 3.Optional probe spacing: 1mm;2mm;3mm in three sizes.4.Select probe material: tungsten carbide needle.gilded copper hemispherical needles. |
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