長期從事半導體材料的制備研究工作，在石墨烯、過渡金屬硫化物等二維材料、寬禁帶氮化物等材料的制備上取得多項創新性成果

于廣輝，中國科學院上海微系統與信息技術研究所研究員研究員，博士生導師。在中國科學院長春光機與物理研究所取得凝聚態物理博士學位，曾在日本千葉大學和中國科學院上海微系統與信息技術研究所從事半導體材料與器件制備研究，具有豐富的材料制備與應用經驗。于2002年4月加入中國科學院上海微系統與信息技術研究所。

于廣輝長期從事半導體材料的制備研究工作，在石墨烯、過渡金屬硫化物等二維材料、寬禁帶氮化物等材料的制備上取得多項創新性成果。在carbon、nanoscale等期刊發表了SCI論文60余篇，已授權發明專利30余項。